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脉冲激光烧蚀制备纳米Si晶粒的动力学研究

论文发布时间：[2010-04-20]    范文大全    编辑：Voive.net

所有作者：李红伟 苏威 滕爱萍

作者单位：中国矿业大学（北京）理学院

论文摘要：本文采用准分子激光器在１０Pa氩气环境中烧蚀单晶硅靶，用扫描电子显微镜观察了沉积物的表面形貌，可以得到衬底上晶粒面密度及平均尺寸随靶距离变化的规律。然后利用气体分子运动论，建立了激光等离子体膨胀模型，从碰撞的角度探索气相成核和晶粒生长机理，成功解释了实验结果，揭示出了等离子体密度对晶核形成的重要作用。

关键词： 脉冲激光烧蚀 晶粒生长 碰撞

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