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液相外延生长GaAs微探尖的质量改进

论文发布时间：[2010-04-29]    范文大全    编辑：Voive.net

所有作者：许育波 梁秀萍 曲光伟 胡礼中

作者单位：大连理工大学物理与光电工程学院

论文摘要：本文对比了两种在选择性液相外延生长GaAs微探尖结束后使生长液与衬底脱离的方法：平推法和旋转石墨舟法。利用扫描电子显微镜对两种方法得到的GaAs微探尖表面形貌进行了表征。结果表明，与平推法相比，通过旋转石墨舟法制得的GaAs微探尖表面残留的生长液体积大大减小，从而大大改善了GaAs微探尖的质量。

关键词： GaAs微探尖 扫描近场光学显微镜 生长液 液相外延

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