所有作者:雷琼 周静 沈杰 陈文
作者单位:武汉理工大学材料科学与工程学院
论文摘要:采用液相旋涂法依次涂覆Ca(Mg1/3Nb2/3)O3(CMN) 膜和CaTiO3(CT)膜制备Ca(Mg1/3Nb2/3)O3/CaTiO3 (CMN/CT)多层异质薄膜,分别采用HNO3及H2O2对异质界面进行处理,研究界面处理对CMN/CT薄膜结构与介电性能的影响。结果表明,界面处理改善了薄膜微观结构,降低了薄膜的表面粗糙度,提高了其介电性能。
关键词: CMN/CT异质薄膜 界面处理 异质界面 介电性能
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