所有作者:高艳 张亮 潘永和 王国栋 许杨 张文华 朱俊发
作者单位:中国科学技术大学国家同步辐射实验室
论文摘要:利用低能电子衍射(LEED)、同步辐射光发射谱(SRPES)和X射线光电子能谱(XPS)技术研究有序ZrO2薄膜在Pt(111)单晶表面的外延生长。薄膜的制备是通过在氧气氛围下在Pt(111)表面上热蒸发金属Zr 并随后对薄膜表面进行退火完成的。实验结果表明:薄膜的生长在初始阶段呈现不连续低维岛状的有序生长,并且岛的尺寸和结构依赖于ZrO2薄膜厚度。在低覆盖度情况下(θ < 0。5 ML), (√19x√19)R23。4730;和(5×5)两种结构并存。随着薄膜覆盖度增加, (√19x√19)R23。4730;结构的长程有序度逐步增加,同时(5×5)结构逐步消失。当薄膜覆盖度达到6单层(ML)以上时,连续结构的ZrO2(111)薄膜形成,表面呈现出ZrO2(111)-(1x1)和(2x2)共存的LEED衍射花样。用这种方法制得的有序ZrO2薄膜为体相ZrO2提供了一个很好的模型表面,可进一步利用表面科学研究手段研究ZrO2表面的各种性质。
关键词: 外延生长 ZrO2薄膜 LEED 同步辐射光电子能谱
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