所有作者:张岩 李晓芳 田林海 唐宾
作者单位:太原理工大学表面工程研究所
论文摘要:采用脉冲偏压直流磁控溅射在AZ91D镁合金表面渗镀铝涂层,研究了渗镀温度对渗镀层组织结构和性能的影响。结果表明,渗镀铝涂层由铝沉积层和扩渗层组成,随渗镀温度升高,沉积层厚度变薄,扩渗层厚度增加;X衍射(XRD)分析表明渗镀层主要由Al、Mg两相组成,在较高温度(450℃)时有少量的Al12Mg17相出现;渗镀层硬度沿深度呈梯度变化逐渐降低,随温度升高,渗镀层厚度增加,硬度梯度变化变缓,有利于膜基体系整体性能的提高。
关键词: 磁控溅射 镁合金 铝涂层 温度
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