晶圆的高温氧化物层均匀性提高方法的研究

论文发布时间：[2010-03-25] 范文大全编辑：Voive.net

所有作者：王燕军黄其煜

作者单位：上海交通大学微电子学院;中芯国际集成电路制造有限公司

论文摘要：本文讲述了几种提高晶圆的高温氧化物层均匀性的方法。通过用４９％高浓度的氢氟酸对晶舟清洗３０分钟可以提高其均匀性从３。６９％到２。２４％，通过用在晶舟内表面上形成膜厚大于２００００埃的高温氧化物层可以提高其均匀性从３。６９％到２。２８％。最终通过合并的最优化的方法可以提高高温氧化物层均匀性从３。６９％到１。７７％。进而提高了产品的质量和可靠性，获得巨大的经济效益。

关键词：氧化层-氮化层-氧化层高温氧化物均匀性

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