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单臂Cluster tools并行模块故障的应急响应

论文发布时间：[2010-03-22]    范文大全    编辑：Voive.net

所有作者：潘春荣 伍乃骐

作者单位：广东工业大学机电工程学院

论文摘要：单臂Cluster tools的加工模块经常出现故障，因此，有效的故障响应显得尤为重要。通过分析单臂Cluster tools并行模块的故障，严格逗留时间约束的晶圆加工过程，建立了Petri网模型，并描述了系统的暂态和稳态特性。基于该模型，分析了并行模块中一个模块出现故障时，系统的可调度性，如果可调度，提出了有效的运行控制策略使得系统继续加工并且晶圆不违反逗留时间约束。通过例子验证该响应是可行的。

关键词： Cluster tools 故障响应 Petri网 半导体制造

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