所有作者:张宇识 耿照新 季旭 李志宏
作者单位:北京大学微电子学研究院
论文摘要:微纳米探针由于具备尺寸小的特点,因此可以用于细胞操作,并且可以将对细胞的伤害降到最低。本文回顾了用于细胞操作的纳米探针的主要种类,以及微米探针中空结构的常见加工方法。并讨论了微纳米探针的优势与面临的挑战,以及研究趋势和发展方向,指出了它与微纳加工技术、材料科学和微纳流控理论等学科发展的关系。
关键词: 微纳米探针 细胞操作 BioMEMS
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