所有作者:周洪军 王冠军 郑津津 霍同林 邱克强
作者单位:中国科学技术大学国家同步辐射实验室
论文摘要:连续光谱的同步辐射光通过入射狭缝照射到光栅单色器后,在出射的单色光 中总是不可避免的混有基波 的高级次谐波 。本文采用本室自制的33001/mm 金膜自支撑透射光栅和美国IRD公司的AXUVI00G光电二极管探测器,定量研究了光谱辐射标准和计量光束线在5~40nm波段的高次谐波。研究了Zr, Si, Al和Al/Mg/Al滤片在不同能量范围对高次谐波的抑制作用,给出了实验数据和曲线。在5~40 nm波段,适当的选用Zr,Si,Al和Al/Mg/Al 滤片可有效地抑制高次谐波,在5-34nm波段将高次谐波与基波的信号强度比例控制在8。06%以内,经量子效率修正后小于3。08%,在35~40波段经探测器量子效率修正后小于10。00%,这一研究为我国软X射线和极紫外的光谱计量、探测器定标和光学元件性能测试奠定了基础。
关键词: 光谱学 高次谐波抑制 滤片 VUV 光谱计量
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