液晶掩模的纳秒脉冲激光烧蚀加工研究

论文发布时间：[2010-01-29] 范文大全编辑：Voive.net

所有作者：陈飞张朝阳王耀民

作者单位：江苏大学机械工程学院

论文摘要：为了提高激光掩模加工的灵活性和柔性化，在激光的传输光路中利用液晶掩模对光束能量进行调制，使通过的激光成为与显示图形成反相关系的镂空图形光斑。通过波长１０６４nm的纳秒脉冲激光烧蚀加工试验，研究了激光输出能量和频率对掩模图形加工效果的影响，确定了图形加工最佳的激光能量范围和液晶掩模穿透损伤阈值，证实了液晶掩模激光烧蚀加工的可行性。试验结果表明：液晶掩模激光击穿损伤阈值约为２。５J/cm２，１４０mJ~１６０mJ为最佳能量范围，频率在１Hz~１０Hz之间变化对图形的成形精度影响不大。

关键词：激光技术液晶掩模激光烧蚀纳秒脉冲激光

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