水下纳秒脉冲激光的掩模微细刻蚀加工

论文发布时间：[2010-01-29] 范文大全编辑：Voive.net

所有作者：张朝阳陈飞王耀民

作者单位：江苏大学机械工程学院

论文摘要：在激光的传输光路中加入掩模板，采用水下纳秒脉冲激光实现了掩模图形的缩映加工，与飞秒激光微细加工相比可显著提高加工效率，加工精度由掩模保证。在所构建的试验系统中，分别采用纯水和盐溶液中进行了加工试验，在水流的作用下，激光辐照的多余热量被带走，加工热影响区明显减小。同时，水下激光辐照还会在加工区域造成光学击穿产生等离子体冲击波，在水层的约束限制作用下，加工表现出了明显的冲击波力学效应。正是通过这种热－力学的复合效应，使金属材料表面产生材料去除和变形的加工效果。最终在质量分数为１５％的NaNO３的溶液中，利用光化学反应的复合作用，实现了线宽１００µ；m左右，热影响区小，成形精度较好的微细刻蚀加工。

关键词：微细加工纳秒脉冲激光掩模板等离子冲击波热－力学效应

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