双势阱静电波动的驻波共振和耦合共振

论文发布时间：[2010-01-14] 范文大全编辑：Voive.net

所有作者：牟宗信牟晓东贾莉刘冰冰臧海荣董闯

作者单位：大连理工大学物理与光电工程学院

论文摘要：非平衡磁控靶表面电场和磁场相互正交构成磁阱结构，磁控靶和与之平行的偏压基片之间形成了另一种势阱结构，等离子体静电波动在这两种势阱结构中形成耦合共振。采用朗繆尔探针研究等离子体中参数和浮置电位信号的傅立叶变换功率谱密度。典型放电条件下两种势阱结构中的本征频率分别约为３０-５０kHz和１０-２０kHz左右，两种势阱条件下分别在根据声驻波共振模式计算的电子温度数值符合实验的结果。

关键词：等离子体磁控溅射驻波共振

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