所有作者：马龙 郭彤 袁方 赵健 傅星 胡小唐
作者单位：天津市南开区天津大学精仪学院光电测控技术研究所
论文摘要：在过去的二十年间，白光显微干涉术被广泛的应用于微结构的几何参数测试。但是当微结构表面覆盖有透明的薄膜结构时，这种方法将不能得到正确的测量结果。本文提出了一种结合白光显微干涉术与图像分割技术的厚膜测量方法，新的方法可以同时得到膜的上下表面形貌以及厚度信息。测试系统集成了Mirau显微干涉物镜，并通过高精度纳米定位器带动物镜实现垂直扫描。当膜的厚度足够时，扫描所得的信号会含有两组完全分离的干涉条纹或两个独立的零级条纹。 之后通过来源于图像分割技术的Otsu方法实现动态的阈值设定。本文首先给出了不同的相干峰探测算法，然后对Otsu方法进行了简要的介绍，并使用模拟的干涉信号对新的测量方法进行了计算机仿真。最后通过对标准膜厚的测量说明了本方法的有效性。
关键词： 白光干涉 阈值 Otsu方法 表面形貌 标准膜厚
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