化学机械研磨中划伤的制程失效模式分析的改进

论文发布时间：[2010-01-05] 范文大全编辑：Voive.net

所有作者：曹雄伟

作者单位：上海交通大学微电子学院

论文摘要：划伤是二氧化硅化学机械研磨中的一种主要的缺陷，比较严重的划伤会形成钨残留，从而导致金属间短路以至降低良率。至今为止，没有一种有效的方法能够完全消除划伤。根据制程失效模式分析的原理，从严重性，检测及发生率三个方面对划伤的问题做了改进：通过增加后道钨研磨的时间减少严重性，制定新的检验方法提高检测以及研究一种方法减少发生几率。通过三个方面的努力，二氧化硅化学机械研磨中的划伤问题得到了很大的改进。

关键词：化学机械研磨划伤制程失效模式分析

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