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MEMS谐振式陀螺的模态分析

论文发布时间：[2009-12-15]    范文大全    编辑：Voive.net

所有作者：徐晓强

作者单位：北京邮电大学自动化学院

论文摘要：本文基于MEMS谐振式陀螺仪的结构和工作原理，用ANSYS软件进行了模态的有限元分析。文中首先介绍了模态分析的基本理论基础，然后用ANSYS软件分析了陀螺几种典型模态，得出在每种模态下振动的固有频率，得出当驱动模态的固有频率与检测模态的固有频率比较接近时，哥氏力的灵敏度较大。最后，运用仿真结果，对陀螺的设计提出改进方案。

关键词： 谐振式陀螺 有限元 模态 仿真

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