溶胶-凝胶法制备Ba0.90Sr0.10ZrxTi1-xO3成分梯度薄膜的介电性能研究

论文发布时间：[2009-12-30] 范文大全编辑：Voive.net

所有作者：高丽娜翟继卫姚熹

作者单位：同济大学功能材料研究所

论文摘要：采用溶胶-凝胶法在Pt(１１１)/Ti/SiO２/Si衬底上制备了Ba０。９０Sr０。１０ZrxTi１-xO３ (BSZT)(x=０~０。４０)组分及其成分梯度薄膜，研究了各组分及梯度薄膜的相结构，显微结构以及在外加电场作用下的介电特性。结果表明，通过合理设计梯度薄膜的成分分布，不仅可以实现对薄膜介电常数的调控，使其保持较高的调谐率，还可获得良好的介电常数温度稳定性。与单相薄膜相比，梯度薄膜同时具有适中的介电常数，低的介电损耗，高的材料优值及良好的介电常数温度稳定性。

关键词：材料物理与化学梯度薄膜溶胶-凝胶调谐率介电性能

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