基于白光三维表面形貌测量的研究

所有作者：刘泊 张琳 邢计元

作者单位：哈尔滨理工大学测控技术与通信工程学院，测控技术与仪器黑龙江省高校重点实验室

论文摘要：本文介绍了研究微观表面三维形貌的意义，阐述了表面三维形貌测量方法，针对白光相移干涉术的核心问题，对相位提取算法进行深入的研究，设计了图像处理软件；文中给出了实验仿真结果，进行了总结和展望，并提出下一步研究工作的设想。

关键词： 三维 表面形貌 白光干涉 相移 滤波

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