所有作者：苏东川 李喜德
作者单位：北京市清华大学航天航空学院
论文摘要：在微纳器件中结构的尺度极度缩小，因此其力学性能成为人们关注的热点问题之一。探针由于具有结构简单、尺度小、灵敏度高等优点，适用于微纳米尺度结构的力学性能检测，并成为目前最有效的微纳米力学检测单元。例如原子力显微镜（AFM）就是一个典型的悬臂探针测量系统，它利用AFM探针进行加载和微力测量。但是由于微纳米尺度实验检测中特殊的夹持、加载与变形测量要求，常规用于观察和轮廓成像的商用AFM系统不能很好的满足这一要求。本文建立起一种基于AFM探针单元和分离控制试样平台的微纳米尺度力学检测系统。该系统利用AFM探针的高灵敏度微力和位移测量单元，以及采用多层级标定的压电陶瓷试件加载平台，实现了微纳米试件的刚度以及微变形检测，并从硬件上实现了试件与探针系统的解耦变形检测。
关键词： 微纳米力学 AFM 探针 耦合作用
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