所有作者:周俊 王宝友
作者单位:中国电子技术标准化研究所
论文摘要:本文简要介绍了高密度集成技术的主要发展方向:缩小特征尺寸与高密度封装技术。缩小器件特征尺寸提高集成度,是21世纪硅微电子技术的重要发展方向之一,本文给出了截止到2008年我国300mm生产线工艺与产能状况。另一方面,作为提高集成度的途径之一的高密度封装技术,其发展趋势主要表现在三个方面:单芯片向多芯片发展、平面型封装向立体封装发展、独立芯片封装向系统集成封装发展;而在具体封装形式上则体现为:芯片级封装(CSP)、系统级芯片(SOC)、系统级封装(SIP)、多芯片组件(MCM)及3D封装等,本文同时介绍上述主要封装形式的主要特征和应用领域。
关键词: 高密度集成 高密度封装 封装
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