所有作者：邵明亮
作者单位：大连理工大学机械工程学院
论文摘要：本文通过经典传热理论和稀薄气体动力学对微热板式微气压传感器进行了电热理论分析并建立了传感器电热理论分析模型，结合微热板传热理论分析与热力有限元模拟建立了微热板式微气压传感器电热力耦合分析理论模型；采用有限元分析软件Ansys微热板进行了热力分析，与之前论文的分析结果进行对比。仿真结果表明，在结果中加入了对流热传导的结果在热变形方面更小，结果更加接近真实，为进行其他的理论分析提供了更加接近真实的平台。
关键词： 微气压传感器 微热板 耦合分析 有限元 热传导
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