所有作者：赵新 郭春艳 张玮光 卢桂章
作者单位：天津南开大学机器人与信息自动化研究所
论文摘要：MEMS的运动测量始终是MEMS研究中的难点，基于显微图像处理的测量方法是一种既直观，又简单有效的方法。本文以微加速度计为例，首先在显微镜下摄取梳齿驱动器的运动录像，并由录像获得图像序列；其次，针对梳齿驱动器设计结构的特点，本文提出了一种基于像素平移的定位方法来提取梳齿位移，并由梳齿位移进一步获得了微加速度计的运动轨迹，该方法提取梳齿位移可以达到亚像素级精度；最后，通过将显微图像处理的结果与仿真数据进行对比，验证了方法的有效性。
关键词： MEMS 显微图像处理 运动轨迹
免费下载《基于显微图像处理的MEMS器件运动轨迹获取》PDF全文（已停止下载）
本站“论文下载”文章收集整理于“中国科技论文在线”，由于各种原因，本站已暂停论文下载！请前往“中国科技论文在线http://www.paper.edu.cn/”免费下载！
指出，范文大全立刻进行改正或删除有关内容! 
当前位置：