所有作者：石巨岩 林会会 王保成 马秋平
作者单位：太原理工大学材料科学与工程学院
论文摘要：四氯化硅是西门子法制备多晶硅时产生的副产物，会造成严重的环境污染，危害人们的身体健康。近年来，随着多晶硅产业的迅猛发展，四氯化硅的危害进一步显现，成为制约多晶硅产业发展的“瓶颈”。近几年有人研究用电化学方法处理四氯化硅。本文在前人工作基础上，以钛镍铌合金为工作电极，用循环伏安法测定了四氯化硅的还原电位，在非水溶液中利用电化学方法还原四氯化硅，并用SEM及EDS对所得样品进行了表征。
关键词： 四氯化硅 电化学还原 电化学沉积 硅
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